無油爪式真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢

爪式真空泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下一些優(yōu)勢和特點(diǎn)：

1）泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生；

2）抽氣原件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)（3000r/min）；

3）與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損；

4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除；

5）該泵型式多樣，功能可以擴(kuò)展，泵的主體，帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備，附件有入口處防反流的閥門，出口處有截流閥，電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置；

6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)的軸承用PFPE油脂潤滑；

7）第二、三、四級均有凈化氣體入口，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔，無此需要的可以不用通凈化氣體，凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)分別調(diào)節(jié)，相互都是獨(dú)立的，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量；

8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來，將泵通以凈化氣體，這些閥可自動開關(guān)，好凱德真空系統(tǒng)有可靠的保護(hù)，杜絕了向真空室的返流；

9）電氣監(jiān)控與操作，主要有電源，遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制。

當(dāng)爪式真空泵出現(xiàn)故障時(shí)泵能自動停車，兩個(gè)閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以滿足監(jiān)控過程的需要。動力電源、繼電器用以對馬達(dá)的接通與斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù)。操作過程有顯示器，有按鈕控制，可控制馬達(dá)、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，凈化氣體向軸封處通氣用的閥門等。故障的監(jiān)控報(bào)警或停車，系統(tǒng)安全自動控制，也可按鈕控制。啟動時(shí)，打開凈化氣體，泵正常運(yùn)行3min，凈化氣體向各段涌入，通凈化氣體對泵性能有些影響。每當(dāng)遇到緊急情況可按自動停車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通，關(guān)閉入口防返流閥，各級泵凈化1min，凈化結(jié)束，馬達(dá)再停車，關(guān)閉惰性氣體截止閥。